近期,廣東省科技創(chuàng)新大會(huì)公布了2019年度廣東省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)名單,惠州雷士光電科技有限公司與華南理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所等企事業(yè)單位聯(lián)合完成的“III-V族化合物半導(dǎo)體材料及器件的界面調(diào)控技術(shù)”項(xiàng)目獲得省科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。
技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)
技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)
廣東省人民政府官網(wǎng)公告鏈接: III-V族化合物半導(dǎo)體是國(guó)家在先進(jìn)材料領(lǐng)域重點(diǎn)發(fā)展的戰(zhàn)略方向,所制備的半導(dǎo)體器件在國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防建設(shè)等領(lǐng)域發(fā)揮至關(guān)重要的作用。然而,界面問(wèn)題貫穿于“材料生長(zhǎng)→結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)→器件制程”的全線程,是實(shí)現(xiàn)高性能器件的關(guān)鍵挑戰(zhàn)。 雷士照明科研團(tuán)隊(duì)通過(guò)產(chǎn)學(xué)研協(xié)同攻關(guān),發(fā)明III-V族半導(dǎo)體的低溫外延生長(zhǎng)技術(shù)、設(shè)計(jì)多種異質(zhì)界面結(jié)構(gòu)以及高效的晶圓鍵合和襯底轉(zhuǎn)移技術(shù),解決了III-V族化合物半導(dǎo)體材料與器件的界面問(wèn)題。采用該技術(shù),項(xiàng)目組研制了多種新型高性能III-V族半導(dǎo)體器件,并已應(yīng)用于多家國(guó)內(nèi)知名企業(yè)的生產(chǎn)中:“量產(chǎn)的Si襯底上垂直結(jié)構(gòu)大功率LED芯片,光效超過(guò)200 lm/W@350 mA;量產(chǎn)的型號(hào)衛(wèi)星用GaAs多節(jié)太陽(yáng)電池,光電轉(zhuǎn)換效率高達(dá)31.64%;5G通信用單晶AlN高性能FBAR濾波器,插入損耗低至1.9 dB”。產(chǎn)品性能均不同程度優(yōu)于國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品,已分別應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外多項(xiàng)重大照明工程、空間衛(wèi)星及載人空間站等國(guó)家航天戰(zhàn)略工程、中興和華為的通信基站,近三年累計(jì)新增銷(xiāo)售逾 32 億元(直接效益 17.8 億元、間接效益 14.8 億元) ,推動(dòng)了我國(guó)的國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)防建設(shè)。 本項(xiàng)目技術(shù)是適用于不同 III-V 族化合物半導(dǎo)體器件研發(fā)與生產(chǎn)的通用發(fā)明技術(shù)。相關(guān)技術(shù)在雷士照明、 華為、 中興通訊、 創(chuàng)維、 上海空間電源研究所(811所) 、中電科 55、 18 及 7 所等單位開(kāi)展了“產(chǎn)學(xué)研”合作,擺脫了國(guó)外在相關(guān)核心技術(shù)上的封鎖,解決了我國(guó)多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題, 實(shí)現(xiàn)了 III-V 族化合物半導(dǎo)體材料與器件的產(chǎn)業(yè)化。 雷士照明將以此為契機(jī),繼續(xù)深耕科研創(chuàng)新工作,在照明科技領(lǐng)域?yàn)槭澜鐜?lái)更多的驚喜和可能!
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